・スパッタリング


加速されたイオンを金属(ステンレス、チタン)に当てると、金属分子が放出されます。この分子を基材に付着させて薄膜を形成することをスパッタ蒸着(sputtering deposition)といいます。真空蒸着に比べ(1)材質の制約が少なく合金や融点の高い金属も蒸着できる(2)蒸着粒子が細かいため均一で薄い膜を作りやすい(3)再現性に優れ量産に適している――などの利点をもっています。繊維製品ではスポーツウェアや傘の素材加工法として注目されています。



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